1. 会熟练通过DOE实验，设计不同产品曝光照明条件(照明形状、NA、σ等)并进行产品工艺参数验证及导入；
2. 曝光工艺重大不良分析及改善；
3. 曝光工艺统计过程数据分析及工艺能力提升等。

1. 本科级以上学历，ASML曝光机5年以上工作经验；
2. 熟悉KrF曝光机如XT860、1060等设备结构及工作原理。